半導(dǎo)體金相顯微鏡的校準(zhǔn)
半導(dǎo)體金相顯微鏡是鑒定成品材料質(zhì)量*的儀器。半導(dǎo)體金相顯微鏡主要通過材料顯微組織的定性，定量晶界組織等表征識別來對材料工藝流程，物理特性，失效成因等綜合因素做出科學(xué)的判斷，并對金屬細(xì)微結(jié)構(gòu)以及非金屬夾雜物的分布形貌等進(jìn)行科學(xué)研究。
伴隨著經(jīng)濟進(jìn)入新常態(tài)，國內(nèi)材料行業(yè)必定在供給側(cè)改革的大趨勢下迎來行業(yè)的春天。從zui傳統(tǒng)的黑色鋼鐵冶煉到zui熱門的納米材料制造無不蘊藏著巨大的商機。那么成品材料的質(zhì)量鑒定就成為了行業(yè)突破的首要問題。其中zui重要的一項鑒定檢查程序就是通過一臺專業(yè)的半導(dǎo)體金相顯微鏡對材料樣品進(jìn)行金相檢驗。
1、物鏡場曲
將一半導(dǎo)體金相顯微鏡物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點調(diào)整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體金相顯微鏡調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點調(diào)整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。半導(dǎo)體金相顯微鏡觀察千分表，其zui大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
半導(dǎo)體金相顯微鏡裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺上并壓緊。半導(dǎo)體金相顯微鏡觀察時測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%
3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距；調(diào)整半導(dǎo)體金相顯微鏡工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁昧阄唬疵?0格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場中心像zui清晰時，半導(dǎo)體金相顯微鏡測得視場內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
5、各物鏡相對于目鏡的格值
裝上被檢半導(dǎo)體金相顯微鏡的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺（推薦使用隨機0.01mm測微尺）放在工作臺上并壓緊；調(diào)整測微尺標(biāo)尺軸線與半導(dǎo)體金相顯微鏡目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
